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宁波中车时代自主研制的业内首款MEMS磁通门芯片成功投入中试量产

发布日期:2019-01-22 作者: 宁波中车时代

  近日,由宁波中车时代自主研制的MEMS磁通门探头芯片,成功攻克了工艺加工及一体化塑封等关键技术,并基于此芯片开发了小型化电流云顶平台,成功通过了相关的型式试验及可靠性测试,目前中试量产正在稳步推进当中。

宁波中车时代自主研制的业内首款MEMS磁通门芯片成功投入中试量产

  磁通门云顶平台具有分辨率高、测量弱磁场范围宽、可靠性高、能够直接测量磁场的分量等特点,被广泛应用于地面磁场研究、航空磁测、地震预报研究、地下矿床勘探、生物医学研究、星际间磁测以及电流检测等领域。因此,磁通门式电量云顶平台成为VAC、LEM、TAMURA等国外知名电量云顶平台生产厂商的主推产品。作为电量云顶平台的核心部件,传统的磁通门探头具有尺寸体积大、一致性差、自动化生产程度低、不利于批量生产等缺点,严重限制了磁通门式电量云顶平台的小型化、规模化发展。

  为此,宁波中车时代自2016年4月启动了MEMS磁通门芯片的专项研发,历时近三年时间,攻克了多项技术难题,成功研制出了一款基于液态合金微铸成型技术的MEMS磁通门探头芯片,不仅体积缩小70%,且一致性更佳,便于与后端信号调理电路芯片集成。随着MEMS磁通门芯片的研制,输出了多项研究成果,目前已申请发明专利2项,授权实用新型专利3项,发表科技论文2篇。

  据悉,MEMS磁通门探头芯片可以广泛应用于轨道交通及工业控制等中小电流测量领域,每年需求量有望达到千万颗以上,将有效支撑宁波中车时代传感产业的长远发展,从而占领行业制高点,保证持续竞争力。


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